Мета обслуговування інструментів ICP:
1) своєчасне виявлення несправностей інструменту;
2) вивчення інструментів, своєчасне виявлення, пропонування запобіжних заходів;
3) шляхом обслуговування інструменту, підвищення чутливості інструменту, продовження терміну служби інструменту;
4) збільшення стабільності приладу, забезпечення точності даних випробування;
Зміст обслуговування інструментів ICP:
1) Очищення всіх плат, вентиляторів та пилу поверхні інструменту
2) Очищення розпушувача, розпушувальних камер, конусів світла та палильників
3) Заміна охолодження циклічної води, очищення трубопроводів
4) вакуумні труби з'єднання, електромагнітний клапан перемикач герметичності перевірки регулювати розташування щелин пучка
5) перевірка продуктивності вакуумного насосу, заміна масла насосу, герметичні кольця, молекулярне сіто
6) Перевірте, що між цилиндром та ICP немає витоку газу, визначається відповідність схеми
7) Перевірте газ інструменту, датчик газу, очищення
8) Обслуговування високочастотного генератора пилу, обслуговування вакуумної камери
9) Відповісти на проблеми з роботою користувача