Марка: Гатан

Назва моделі: Система вимірювання струму з індукцією електронного пучка Gatan SmartEMIC

Виробник: GATAN

Дистриб'ютор: Opodong Co., Ltd.

Комплексне представлення продукту:

Функції продукту:

Система аналізу EBIC, яка може контролювати програмне забезпечення в режимі реального часу, повністю автоматично збирає сигнал електронного струму (EBIC), отримує інформацію про зображення EBIC, а також може отримати інформацію про криву IV, zui в кінцевому підсумку може перевірити розташування вузла PN, ширину, довжину дифузії меншого сина, позиціонування точки збою матеріалу або пристрою, широко використовується в області електронних напівпровідників

Особливості системи продукту:

Високопродуктивна система EBIC для кількісних вимірювань EBIC. Інтерфейсно зручне аналітичне програмне забезпечення працює на програмній платформі DigitalMicrograph.

Системи SmartEBIC для SEM включають:

• підсилювач EBIC, керований комп'ютером і заряджений батареєю

• EBIC візерунок (ASH) з регульованим вольфрамовим зондом для настільного контакту. З відповідним адаптером Gatan також можна завантажувати зразок через повітряний замок*

• Інтерфейс з SEM Sample Table

• Поєднання розетки і 4 BNC типу кабель з низьким рівнем шуму для цього повітряного подачі, підходить для вимірювання EBIC і електронних потоків

• Цифрова система управління електронними пучками DigiScan II з технологією Fireware. Він включає два аналогові входи для одночасного захоплення зображень фотографічної якості та гнучкого контролю інтенсивності пікселів, часу перебування кожної точки, обертання сканування тощо. Для деяких SEM він також може передавати параметри роботи SEM через програмне забезпечення.

• Програмне забезпечення Digital Micrography з розширеним додатковим плагіном SmartEBIC для кількісних вимірювань, аналізу лінійних контурів в режимі реального часу та післяобробки

Основні технічні параметри продукту:

SmartEBIC забезпечує автоматичний контрольний збор та кількісний аналіз сигналів EBIC:

Система управління скануванням:

1-, 1-, 2- або 4-бітний збор даних забезпечує надзвичайно великий динамічний діапазон

Розвільна здатність сканування від 16 х 1 до 8000 х 8000 пікселів

Час перебування електронного пучка, регулюється від 0,5 мілісекунди / піксель до 300 мілісекунд / піксель

Автоматична регуляція розміру зображення, що робить процес експерименту EBIC більш зручним

* 5, конфігурація контролера Digi-Scan, програмне забезпечення в режимі реального часу управляє повністю автоматичним захопленням, може проводити кількісний аналіз сигналу при захопленні сигналу EBIC без додаткової післяобробки,

* 6, можна отримати інформацію про зображення EBIC, а також інформацію про криву IV.

Контроль шуму:

1. Спеціально розроблений EBIC додатковий візерунок

2. Коосиальний спосіб обмотки

3. Повторно використовується свинцево-кислотна батарея (15 годин служби)

4. Можна змінити збільшення підсилювача для оптимізації співвідношення сигналу та шуму для збору даних та пропускної здатності

5. Два необхідні фільтри першого ряду RC, фільтри низького або високого проходження

6. Низький режим збільшення дрейфу

За межами часу спілкування з ПК мікропроцесор системи автоматично переходить до стану сну

8. Багаті інструменти обробки зображень. Включає в себе інструменти для острення, згладження та перетворення Фуріє.

Можна адаптуватися до технології Lock-in (система не пропонує, така система конфігурації не буде кількісний аналіз сигналу EBIC)

Відстеження:

Реалізація за допомогою програмного забезпечення. Розвільна здатність захоплення становить +/-5V при режимі 12bit (1,22 мВ).

Автоматизація:

Навіть при поганих параметрах підсилювача система автоматично оптимізує розмір зображення, що забезпечує зручніше перегляд зображень

Можливість автоматичного налаштування відступу/збільшення підсилювача

Програмне забезпечення:

Вимірювання довжини диффузії одновимірного процесу

Широкий спектр інструментів аналізу для сканування обличчя / лінійного сканування, включаючи інструменти математичного аналізу, застосування фільтрів та багато іншого

Широкий спектр варіантів схеми відображення зображення, включаючи накладення вторинного електронного зображення з зображенням EBIC

Мови програмування допомагають вам написати спеціальне програмне забезпечення для ваших експериментів

Основні сфери застосування продукту:

Випробування PN розташування вузла, ширина, довжина диффузії майона металевий матеріал

Позиціонування точки збою матеріалу або пристрою

Випробування щільності битових помилок напівпровідників

IV Тест характеристик

Приклади застосування:

Застосування 1: Випробувати PN вузла, ширина, довжина диффузії

Застосування 2: Позиціонування точки збою матеріалу або пристрою

Марка: Гатан

Назва моделі: Система вимірювання струму з індукцією електронного пучка Gatan SmartEMIC

Виробник: GATAN

Дистриб'ютор: Opodong Co., Ltd.