Сучжоу промисловий парк Huiguang Technology Co., Ltd.
Домашній>Продукти>12-дюймова система перевірки пластинки Olympus
12-дюймова система перевірки пластинки Olympus
12-дюймова система перевірки пластинки Olympus має дві основні моделі: AL120-LMB12-LP та AL120-LMB12-F. Системи перевірки пластин Olympus можуть викор
Подробиці про продукт

Основні особливості 12-дюймової системи перевірки пластинки Olympus:

Міцна, надійна та безпечна доставка

12-дюймова система перевірки пластин Olympus продовжує міцність, надійність та безпеку попереднього покоління моделей, здатна безпечно і надійно переносити 300-мм пластини, а тонкі пластини Warped також можуть бути безпечно перенесені.

● Ергономічний дизайн, зручна експлуатація

12-дюймова система перевірки пластинки Olympus може вільно встановлювати режим перевірки, розробка враховує експлуатаційність в задній інженерії, особливу увагу приділяє простоті експлуатації обладнання. Відповідають двом моделям FOUP (Load Port) і FOSB відповідно.

Оптимізація макро-спостереження 12-дюймової системи перевірки пластинки Olympus та централізоване розташування операційних блоків покращують експлуатаційність обладнання.

Автоматична 300 мм система перевірки пластин AL120-12 Технічні характеристики12寸奥林巴斯晶圆检查系统AL120-LMB12-LP/AL120-LMB12-F

Модель

AL120-LMB12-LP

AL120-LMB12-F

Розмір пластинки

300 мм (SEMI M1.15 т = 775 мкм): 200 мм

Кількість карточек

Одна коробка (для завантаження та демонтажу)

Висота встановлення карточки

900 mm

Порт завантаження

Є

Ніякого

Порядок обробки

Макроси поверхні, внутрішні макроси, мікроскопічні перевірки

Режим перевірки

Всі перевірки, вибірки

Калібрування пластинки

Безконтактне центрове кільце

Спосіб обробки пластинки

Механічна обробка вакуумної адсорбції

Застосування мікроскопу

Мікроскоп для перевірки напівпровідників MX61L

середовище застосування

AC100~120 V,220~240 V,3.0/1.7 A,50/60 Hz , Вакуум - 67-80 кПа

Транспортна станція

XY ручне присвоєння носителя з XY грубим / тонким регулюванням і механізмом обертання на 360 градусів

Вага (без мікроскопу)

360 кг

близько 270 кг

Інтернет-дослідження
  • Контакти
  • Компанія
  • Телефон
  • Електронна пошта
  • WeChat
  • Код перевірки
  • Вміст повідомлення

Успішна операція!

Успішна операція!

Успішна операція!