Основні особливості 12-дюймової системи перевірки пластинки Olympus:
Міцна, надійна та безпечна доставка
12-дюймова система перевірки пластин Olympus продовжує міцність, надійність та безпеку попереднього покоління моделей, здатна безпечно і надійно переносити 300-мм пластини, а тонкі пластини Warped також можуть бути безпечно перенесені.
● Ергономічний дизайн, зручна експлуатація
12-дюймова система перевірки пластинки Olympus може вільно встановлювати режим перевірки, розробка враховує експлуатаційність в задній інженерії, особливу увагу приділяє простоті експлуатації обладнання. Відповідають двом моделям FOUP (Load Port) і FOSB відповідно.
Оптимізація макро-спостереження 12-дюймової системи перевірки пластинки Olympus та централізоване розташування операційних блоків покращують експлуатаційність обладнання.
Автоматична 300 мм система перевірки пластин AL120-12 Технічні характеристики
Модель |
AL120-LMB12-LP |
AL120-LMB12-F |
Розмір пластинки |
300 мм (SEMI M1.15 т = 775 мкм): 200 мм |
|
Кількість карточек |
Одна коробка (для завантаження та демонтажу) |
|
Висота встановлення карточки |
900 mm |
|
Порт завантаження |
Є |
Ніякого |
Порядок обробки |
Макроси поверхні, внутрішні макроси, мікроскопічні перевірки |
|
Режим перевірки |
Всі перевірки, вибірки |
|
Калібрування пластинки |
Безконтактне центрове кільце |
|
Спосіб обробки пластинки |
Механічна обробка вакуумної адсорбції |
|
Застосування мікроскопу |
Мікроскоп для перевірки напівпровідників MX61L |
|
середовище застосування |
AC100~120 V,220~240 V,3.0/1.7 A,50/60 Hz , Вакуум - 67-80 кПа |
|
Транспортна станція |
XY ручне присвоєння носителя з XY грубим / тонким регулюванням і механізмом обертання на 360 градусів |
|
Вага (без мікроскопу) |
360 кг |
близько 270 кг |
